UniHotplate桌面型熱板是一種桌面型熱板，可烘烤8英寸或者6寸方片。溫度設定20℃~250℃。

UniCoater桌面型旋涂勻膠設備是一種桌面型旋涂勻膠設備。可旋涂8英寸或者6英寸方片。

GL MegaClean單片式兆聲波清洗設備基材尺寸大300mm直徑以下圓片清洗；單片掃描式毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗。

? GL Plasma等離子體清洗設備數適用于大300mm直徑以下晶圓或者330×400mm基材（軟工作模具基材）。

GL150 PreNIL & GL300 PreNIL，150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預處理設備，Cassette to cassette機械手自動上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。

GL Spin+HP旋涂勻膠設備+熱板適用于大300mm直徑以下圓片或者9英寸方片旋涂勻膠與烘烤工藝。